全省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室依托西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心成立，实验室现有8英寸 MEMS前道工艺加工线，重点聚焦光学微系统及应用技术领域，设立光谱/偏振 MEMS滤光芯片晶圆级制造工艺研究、压电声感 MEMS芯片晶圆级制造工艺研究、多功能光学 MEMS芯片异构集成制造工艺研究等研究方向，面向物联网、工业检测、安防监控、智慧城市、医疗诊断、食品安全、军事国防等领域开展应用基础研究与前沿技术攻关，并探索产学研发展新途径、新模式。

为进一步加强融合、开放和对外交流力度，根据《浙江省重点实验室认定和运行管理办法》设立全省高性能 MEMS芯片规模制造技术重点实验室开放课题。现将2025年度开放基金课题指南予以发布，并将有关课