空天微纳系统教育部重点实验室2026年度开放课题申报指南

空天微纳系统教育部重点实验室（以下简称“实验室”）依托于西北工业大学，在航空航天特种MEMS制造、微纳敏感机理与惯性器件、MEMS集成设计软件、微纳光学、先进流动测控、柔性微纳防除冰结构、微流控芯片与医疗装备等研究方面处于国内领先、国际先进水平，已成为我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。实验室硬件条件达到国内一流、国际先进水平，在友谊校区拥有一条四/六英寸微加工工艺线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀等多种典型工艺；在宁波建立了一条8英寸MEMS中试线，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。实验室现有专任教师35人，其中国家级领军人才7人，国家级青年人才11人，形成了一支以国家级领军人才为学术带头人、以中青年教师为骨干的高水平研究队伍。实验室累计获得国家技术发明二等奖3项、国家教学成果一等奖1项、省部级一等奖8项。近五年来，承担国家重大科学仪器设备开发专项，民机专项，国家自然科学基金重点项目等项目，累计经费超过2亿元。

根据实验室发展规划及教育部重点实验室管理要求，为贯彻“开放、共享、融合、创